ModelVMS-2010EVMS-3020EVMS-4030EVMS-5040E范圍300*200*150mm測量準確度3.0+L/150(um)大理石臺面356*266mm玻璃尺寸260*160mm360*260mm460*260mm560*460mm最大工作重量20Kg20Kg30Kg30Kg分辨率0.1um標準物質花崗巖( Granite )X-Y物質花崗巖( Granite )軸承X輿Y直線運動軸承( Linear Motion Guide )電力220V±10%（ AC ) 50-60HZ光學6.5：1 光學放大0.7X-4.5X影像倍率20X-280X ( 17inch monitor )視野范圍10.6-1.6mm工作距離90mm成像系統彩色CCD攝像機 (Color CCD Camera )表面LED環形燈LED 4環型光源 ( 4RingX40SEGments )底部光源LED光源 ( LED Light )軟件Iview-DIMS/windowsXP運營體制